こんなところに使われています!淀川ACCのコーティング技術
実績例一覧
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使用部品・製品名 | 表面処理種類 | 機能・性質 | 膜厚 | 製品サイズ |
ウェハー研磨用金型 | PTFE・PFA | 非粘着・スベリ・耐蝕性 | 100~300μm | MAX3000mm |
ウェハー搬送用(導電性) 吸着ハンド |
PTFE | スベリ・非粘着 | 15~30μm | ~500mm |
ピン(製造ライン) | PTFE | スベリ | 15~30μm | Φ5~Φ10mm |
吸着パッド(製造ライン) | PTFE | 非粘着 | 10~20μm | Φ10~Φ50mm |
筐体カバー | PFA | 耐薬品 | 50~100μm | 1000mm |
シリコンシート | PTFE | スベリ | 5~10μm | 400mm |